R32 difluórmetán ako suchý leptací plyn pre Si3N4

R32 Difluórmetán, tiež známy ako HFC-32, molekulový vzorec: CH2F2, ako anizotropný leptací plyn pre Si3N4, má relatívne nízku selektivitu pre SiO2 a Si. Okrem toho, že ide o hlavné leptadlo, možno ho použiť aj ako pomocný plyn pre iné hlavné leptadlá na úpravu pomeru fluór/uhlík.

 

R32 – Kľúčové vlastnosti:

1. Nepoškodzuje ozónovú vrstvu

2. Netoxický

3.Hydrofluorokarbónový (HFC) plyn

4. Olej: POE (polyolesterový olej)

V modernej ére výroby polovodičov, kde sú kľúčovými faktormi presnosť a miniaturizácia, hrá proces leptania zásadnú úlohu. Leptanie je komplexná technika používaná na selektívne odstraňovanie vrstiev materiálu z polovodičových doštičiek, čo umožňuje vytváranie zložitých obvodových vzorov.

Suché leptanie je použitie plynu na leptanie média. Bežné metódy suchého leptania zahŕňajú fyzikálne leptanie (ako je leptanie iónovým lúčom) a chemické leptanie parou (ako je plazmové leptanie). Plyn sa používa na dopad na povrch substrátu na poškriabanie a jeho charakteristikou je vysoká presnosť spracovania.

R32 difluórmetán je bežne používaný suchý leptací plyn, široko používaný v procesoch plazmového leptania v elektronickom priemysle. Okrem toho je to tiež chladivo s nulovým potenciálom poškodzovania ozónovej vrstvy a je široko používané v chladiacich zariadeniach, ako sú klimatizácie, chladničky a klimatizácie automobilov. V porovnaní s tradičnými chladivami má plyn R32 vyššiu účinnosť chladenia a nižší dopad na životné prostredie.

Xiamen Juda je popredným poskytovateľom leptacieho plynu a chladiacich riešení v Číne, ktorý ponúka širokú škálu produktov, ako sú R32, C4F8, SF6, CF4 a chladiaci plyn. Spoločnosť Xiamen Juda, ktorú v roku 1988 založil jeden z priekopníkov chemickej výroby v Číne, spoločnosť Juhua Group Corporation, sa od roku 2004 venuje vývozu fluórovaných chemikálií. Náš tím sa zaviazal k dokonalosti a poskytovaniu špičkových riešení pre plyn, aby vyhovoval potrebám našich zákazníkov. Sme hrdí na našu dlhoročnú povesť kvality a spoľahlivosti. S Xiamen Juda sa môžete spoľahnúť, že dostávate to najlepšie v tomto odvetví.