Od 7 nm doštičiek až po pokročilé balenie, každý nový uzol posúva veľkosť funkcií smerom k fyzickým limitom a premení „čistenie“-po kroku na pozadí-na misiu na úrovni nanometrov- alebo dokonca angstromov-. Tradičné fluórované uhľovodíky (CFC{7}}113, PFC) nie sú-horľavé a majú nízku toxicitu, ale ich poškodzovanie ozónovej vrstvy-alebo vysoký GWP profily vyvolali celosvetové zákazy. Vodné chemikálie medzitým často zanechávajú stopy vody, korodujú kovy a spotrebúvajú veľké množstvo energie na sušenie.Hydrofluóréter (HFE), ktorý kombinuje nulový ODP, nízky GWP, nehorľavosť{0}}a nulové zvyšky, sa rýchlo stal novým favoritom tohto skvelého inžiniera a teraz sa považuje za dokonalú ekologickú náhradu za špičkové-precízne čistenie.
1. Prečo HFE fluórové rozpúšťadlo zvládne čistenie polovodičov
Molekulárne inžinierstvo poskytuje vyvážený výkon
Éterový kyslík je uzavretý v uhlíkovej kostre a zvyšné valencie sú uzavreté vodíkom, čím sa zachováva chemická inertnosť a nízka polarita fluórovaných uhľovodíkov a zároveň sa znižuje vplyv skleníkových plynov a toxicita. Vezmime si ako príklad bežnú triedu HFE-347 (C3H3F₇O):
bod varu 56,2 stupňa; vysoký tlak pár pri izbovej teplote pre rýchle sušenie bez-značky-voda
Povrchové napätie iba 16,4 mN m⁻¹, prenikajúce 10 nm priekopy a „zdvihnutie“ častíc a fragmentov fotorezistu
Dielektrická pevnosť 40 kV, umožňujúca živé-čistenie náradia bez bránového-rozpadu oxidov
Žiadny bod vzplanutia, nulové limity výbušnosti, čo okamžite znižuje famóznu-hodnotu nebezpečenstva požiaru
Výborná materiálová kompatibilita
Nulová korózia na spájkach Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg, nízko{0}}k dielektriku, PI, LCP, FR-4; vysoká selektivita voči PR, BARC, SiO₂, Si33N4-štruktúry zariadení zostávajú nedotknuté.
Regulačné a ekologické-priateľské
ODP=0, GWP ≈ 540, atmosferická životnosť < 1 rok, spĺňa EU VOC, RoHS, REACH a čínsky náhradný plán ODS-. Použitá kvapalina sa môže destilovať a recyklovať > 10-krát, čím sa znížia celkové náklady na vlastníctvo (TCO) o 15–25 %.
Vynikajúca účinnosť čistenia pre špecifické kontaminanty
Aj keď nie sú univerzálne rozpúšťadlá pre všetky organické látky, HFE sú vysoko účinné pre ich cieľové aplikácie:
Vynikajúce na odstraňovanie perfluórovaných mazív a mazív: Sú to rozpúšťadlo na odstraňovanie perfluórpolyéterových (PFPE) a mazív typu Krytox™{0}} používaných vo vákuových tesneniach, ventiloch a robotike v rámci nástrojov na výrobu polovodičov.
Účinné na zvyšky tavidiel a iónové kontaminanty: Keď sú formulované so stabilizátormi alebo ko{0}}rozpúšťadlami, dokážu odstrániť spájkovacie tavidlá a častice kontaminácie bez vody.
Presné sušenie bez zvyškov
HFE majú jedinečnú kombináciu vlastností, ktoré umožňujú dokonalé „sušenie po kvapkách“:
Nízke povrchové napätie a vysoká zmáčavosť: Prenikajú cez zložité geometrie a pod nízko{0}}stojace komponenty.
Vysoká prchavosť: Úplne a rýchlo sa odparujú bez zanechania vodných škvŕn alebo iónových zvyškov, čo je rozhodujúce pre výrobu s vysokým-výťažkom.
Efektívnosť a všestrannosť procesu
HFE umožňujú flexibilné a efektívne metódy čistenia:
Kompatibilita s odmasťovaním pár: Vďaka ich prchavosti a stabilite sú ideálne pre moderné, uzavreté odmasťovače pár, ktoré sú -efektívne rozpúšťadlá a poskytujú vynikajúce čistenie zložitých dielov.
Čistenie pomocou ko-rozpúšťadla „Zip“: Azeotropné alebo ne{1}}azeotropné zmesi s alkoholmi (ako IPA) alebo uhľovodíkmi môžu najskôr rozpustiť polárne/organické nečistoty, ktoré sa potom opláchnu čistým HFE a zanechajú dokonale suchý povrch bez-zostatkov.
Kompatibilita s automatizáciou: Ich vlastnosti umožňujú integráciu do automatizovaných čistiacich systémov.
Výhody bezpečnosti pracovníkov
Nízka toxicita: Majú nízku akútnu a chronickú toxicitu s vysokými limitmi expozície (zvyčajne vysoké prahové limitné hodnoty - TLV).
Príjemný zápach: Na rozdiel od mnohých agresívnych rozpúšťadiel majú vo všeobecnosti mierny{0}}zápach, čo zlepšuje akceptáciu na pracovisku.
Nehorľavosť{0}: Eliminuje nebezpečenstvo požiaru a výbuchu spojené s rozpúšťadlami ako IPA alebo acetón pri hromadnom čistení.
2. Tri základné aplikácie v polovodičových továrňach
A. Precízne čistenie na-úrovni oblátok
Po litografii, leptaní alebo implantácii zostávajú organické zvyšky a kovové ióny < 10 nm. Nízka viskozita a vysoká penetrácia HFE znižuje -počet častíc v priekope z > 500 každ. cm⁻² na < 10 ka cm⁻² za 30 s; v spojení so 40 kHz ultrazvukom alebo prúdom, odstránenie kovových-iónov (Cu²⁺, Fe³⁺) > 99,9 %, čím sa získa povrch „atómového-škály“ pre následné ALD alebo CVD.
B. Odstraňovanie fotorezistu a odstraňovanie zvyškov-popolu
Konvenčné SPM (H2SO4/H2O2) alebo odstraňovače amínov korodujú Cu/Low{0}}k; zriedený striptér na báze HFE-rozpustí úplne KrF, ArF a EUV odolnosť pri 60 stupňoch za 5 minút s nulovou stratou na tvrdých maskách TiN alebo Cu linkách, ktoré sú už kvalifikované pre uzly pod 14 nm.
C. Pokročilé balenie a mikro-čistenie hrbolčekov
Po TSV alebo mikro{0}}vytvorení hrbolčeka spôsobí tavivo a laserové{1}}karbónové vŕtanie, ktoré zostalo v 5 µm slepých priechodoch, pod-vyprázdňovanie a zlyhávanie-hrnca. Azeotrop HFE (HFE + ko{7}}rozpúšťadlo + inhibítor korózie) sa strieka pri 25 stupňoch počas 2 minút, odstraňuje > 98 % zvyškov, je 100 % kompatibilný s EMC, PI a Cu stĺpikmi a nahradil NMP a acetón v objemových linkách FC-BGA.
3. Trhová krajina a lokalizácia v Číne
globálne: Rodina 3M Novec stále drží > 60 % podiel, ročné tržby ≈ 5 kt, tržby ≈ 1,6 miliardy USD; odhaduje sa, že do roku 2025 dosiahne 2,3 miliardy USD.
Domáce: Haohua, Capchem, Beijing Yuji a Juhua prekonali vysokú-čistotu (viac alebo rovnajúcu sa 99,999 %) syntéze a destilácii, prešli kvalifikáciou SMIC, YMTC a HiSilicon a teraz ponúkajú pokles-náhrad za 3M.
Outlook: S rozširujúcimi sa architektúrami 3D NAND, GAA-FET a Chiplet rastie dopyt po čističoch s nízkym-povrchovým{3}}napätím a vysokou-selektivitou > 20 % ročne; HFE, zrelá náhrada ODS, bude aj naďalej profitovať.
HFE hydrofluoroéter nie je len „zelený slogan“. Jeho prispôsobiteľná molekulárna štruktúra zasiahla medzi čistiacou silou, kompatibilitou materiálov a environmentálnou stopou. Umožňuje fabulám prenasledovať Moorov zákon bez toho, aby to stálo ozónovú vrstvu alebo uhlíkový rozpočet, a dáva OSAT univerzálny recept na „umývanie-a{3}}sušenie s nulovými-zvyškami“ pre všetko od malých hrbolčekov až po masívne panely. Keďže Čína-vysokočistota HFE{7}}vyrábala v súčasnosti čoraz viac, zelená revolúcia v precíznom čistení sa práve začala.
Pre podniky, ktoré hľadajú HFE hydrofluóréter, naša spoločnosť poskytuje konkurencieschopné ceny, spoľahlivé dodávky a technickú podporu. Kontaktujte nás ešte dnes a získajte ďalšie podrobnosti!
