FFKM je vysoko výkonný tesniaci materiál. Jeho vynikajúci výkon umožnil jeho aplikácii preniknúť do celého výrobného systému polovodičových produktov. Medzi nimi sú tesniace krúžky FFKM jedným z hlavných spotrebných materiálov potrebných na výrobu integrovaných obvodov.
štruktúru a výkonové charakteristiky FFKM
FFKM je kopolymerizovaný tetrafluóretylénom (TFE), perfluóralkylvinyléterom (PAVE) ako hlavnými monomérmi a malým množstvom monoméru s bodom vytvrdzovania (CSM). Ako je znázornené na obrázku nižšie, všetky atómy uhlíka v polyméri Všetky atómy vodíka na gume sú nahradené atómami fluóru, čo z nej robí gumu, ktorá vôbec neobsahuje CH väzby.
Hlavné výkonnostné vlastnosti FFKM:
1) Fyzikálne vlastnosti
Hustota FFKM je 1.9-2.0g/cm³. Jeho mechanické vlastnosti pri normálnej teplote sú blízke vlastnostiam fluorokaučuku (FKM) na báze vinylidénfluoridu (VDF), ale jeho mechanické vlastnosti pri vysokej teplote sú lepšie ako vlastnosti fluorokaučuku.
2) Chemická odolnosť
V molekulárnom reťazci FFKM nie sú žiadne atómy vodíka a CC väzby sú v podstate obklopené plášťom zloženým z F atómov, ktorý vykazuje silnú chemickú inertnosť a robí polymér výrazne odolným voči chemikáliám.
3) Odolnosť voči vysokým a nízkym teplotám
Prevádzková teplota FFKM je vo všeobecnosti 260 ~ 290 stupňov a môže sa používať prerušovane pri vysokých teplotách 316 stupňov. Pretože sa do rozvetvených reťazcov molekúl zavedie veľký počet skupín -OCF3, zlepší sa flexibilita molekúl a zlepší sa odolnosť gumy voči nízkym teplotám.
4) Odolnosť voči plazme
V plazmovom prostredí vykazuje produktové charakteristiky vysokej čistoty a nízkych zrážok a môže dlhodobo odolávať plazmovému bombardovaniu.
Aplikácie fFKM v polovodičoch
Pri výrobe polovodičov je spoľahlivosť elastomérových tesnení kritická, pretože odstávky výroby na výmenu tesnení sú mimoriadne nákladné. Aby sa predišlo prípadným rizikám, požiadavky na čistotu a čistotu plomb sú veľmi prísne. Zároveň musia byť tesnenia schopné dlhodobo pracovať v tlakovom prostredí vysokej teploty, vysokého vákua a korozívnych chemických plynov.
Pokiaľ ide o polovodičové aplikácie, FFKM sa zameriava najmä na:
1) Plynové tesnenie: V procese výroby polovodičov je nevyhnutné spracovanie a preprava rôznych plynov. O-krúžok FFKM sa používa na utesnenie plynovodov, ventilov a spojov, aby sa zabezpečilo, že plyn neuniká a udrží sa stabilita procesu.
2) Leptanie a čistenie: Kroky leptania a čistenia v polovodičových procesoch často zahŕňajú použitie korozívnych médií, ako sú silné kyseliny alebo zásady. O-krúžky FFKM sú široko používané v častiach zariadení, ktoré sú v kontakte s týmito médiami, ako sú leptacie komory, čistiace nádrže a pod. kvôli ich vynikajúcej odolnosti proti korózii.
3) Preprava kvapalín a chemikálií: Pri výrobe polovodičov je potrebné prepravovať rôzne kvapaliny a chemikálie, ako sú roztoky, rozpúšťadlá, čistiace kvapaliny atď. O-krúžok FFKM možno použiť na utesnenie komponentov zariadenia, ako sú potrubia, ventily a čerpadlá bezpečné doručenie médií.
4) Prostredie s vysokou teplotou: Určité kroky v procese polovodičov je potrebné vykonať vo vysokoteplotnom prostredí, ako je tepelné spracovanie, žíhanie atď. O-krúžky FFKM majú vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a sú schopné udržať si svoju elasticitu a tesnenie vlastnosti pri vysokých teplotách.
5) Úprava ultračistej vody: Pri výrobe polovodičov sa ultračistá voda používa na čistenie a čistenie zariadení a materiálov. O-krúžky FFKM sa široko používajú na utesnenie zariadení na úpravu ultračistej vody, aby sa zabránilo vniknutiu nečistôt a kontaminantov.
Kvôli vysokým nákladom na gumárenské suroviny FFKM sú pracovné podmienky, kde sa tesnenia FFKM zvyčajne používajú, mimoriadne drsné. V týchto drsných pracovných podmienkach sú iné gumy náchylné na koróziu, napučiavanie, rozpúšťanie, starnutie a tvrdnutie atď., čo vedie k poruche tesnenia, a preto nemôžu spĺňať požiadavky na tesnenie. Vďaka svojej vynikajúcej odolnosti proti korózii a vysokej teplotnej odolnosti môže kaučuk FFKM nielen splniť požiadavky na tesnenie v náročných pracovných podmienkach, ale tiež zvýšiť životnosť tesnení a znížiť náklady zákazníkov na údržbu.
